ככל שהמיקרו-אלקטרוניקה מתכווצת וגדלים גדלים של פרוסות, הדרישות המוטלות על מערכות תנועה ליניאריות הגיעו לרמות קיצוניות. מובילי מיסב כדורים-מכניים מסורתיים הגיעו לגבולות הפיזיים שלהם. חיכוך, רעש אחור, בלאי מכני ומיקרו-רעידות מגבילים את יכולתם להקטין. הזן אתמערכת מיסב אוויר גרניט-טכנולוגיה ללא חיכוכים המשלבת את השטיחות הגיאולוגית הטבעית של גרניט שחור עם סרטי אוויר בלחץ כדי להשיג תנועה ליניארית כמעט מושלמת.-
כיצד פועלים מיסבי אוויר גרניט
מיסב אוויר משתמש בשכבה דקה בלחץ גבוה של אוויר נקי ויבש (בדרך כלל בעובי של 5 עד 10 מיקרון) כדי לתמוך בגררה נעה מעל מסלול מנחה. מכיוון שהכרכרה ממש צפה באוויר, אין מגע פיזי בין החלקים הנעים.
עם זאת, מיסב אוויר מדויק רק כמו פני השטח שעליו הוא צף. אם מסילת ההובלה אינה אחידה, עובי מרווח האוויר ישתנה, ויגרום לשינויים פתאומיים בלחץ האוויר, מה שמוביל להטיית הגררה או רטט. זו הסיבה שהגרניט השחור UNPARALLELED® הוא השותף המושלם למיסבי אוויר: ניתן לעבד אותו בעיבוד-וידנית לשטיחות תת--מיקרונית, מה שמספק משטח אחיד, חלק ויציב להפליא עבור סרט האוויר להחליק מעליו.
יתרונות מרכזיים של מיסבי אוויר גרניט
אפס בלאי, תוחלת חיים אינסופית: מכיוון שאין מגע מכני, אין בלאי פיזי. הדיוק של המערכת נשאר זהה ביום 1,000 כפי שהיה ביום 1. זה מקטין באופן דרסטי את זמן ההשבתה בתחזוקה בחדרים נקיים 24/7.
חלקות מהירות: מיסבים מכניים סובלים משינויים בהתנגדות "שיניים" והתנגדות גלגול. מיסבי אוויר מציעים תנועה חלקה לחלוטין וללא חיכוך, המאפשרים בקרת מהירות תת--ננומטר יציבה ביותר.
דיוק מיקום קיצוני: בשילוב עם מנועים לינאריים ומקודדים אופטיים ברזולוציה-גבוהה, שלבי מיסב אוויר יכולים להגיע לחזרתיות של מיקום תת--ננומטרי, אשר חיונית לליטוגרפיה EUV (Extreme Ultraviolet) ובדיקה אופטית מתקדמת.
אין צורך בשימון: מיסבים מסורתיים דורשים שומן או שמן, שעלולים לצאת מגז ולזהם תאי ואקום או עדשות אופטיות. מיסבי אוויר פועלים על אוויר נקי, מה שהופך אותם-לתואמים לחלוטין לחדר נקי.
זרקור יישום: בדיקת רקיקת מוליכים למחצה
בבדיקת פרוסות מוליכים למחצה (AOI/X-RAY), המצלמות חייבות לסרוק פרוסות הנעות במהירויות גבוהות תוך שמירה על עומק מוקד מושלם. אפילו רטט אנכי זעיר יכול לטשטש את התמונה. כרכרה נושאת אוויר הנוסעת על מסילת מנחה גרניט שטוחה במיוחד- מבטיחה שהסטייה האנכית (פסיעה, גלגול וסכסוך) נשארת כמעט לא-קיימת, ומאפשרת-תפוקה גבוהה-בקרת איכות ללא שגיאות.
מדריך חקירה: גבולי מיסב אוויר-מותאמים אישית דורשים סובלנות מכנית מתואמות במיוחד. כאשר מבקשים הצעת מחיר, על המהנדסים לציין את משקל המטען, תאוצת היעד והפרמטרים הסביבתיים (ואקום לעומת אטמוספרי) כדי להבטיח שמבנה הגרניט וחירי האוויר מתוכננים כיחידה אחת והרמונית.